Una bomba de buit és una màquina fluida que extreu gas d’una cambra de buit per crear un buit. És fonamental per a diverses operacions de procés. A continuació, es mostren algunes aplicacions comunes:
1. Recerca científica i laboratoris: les bombes de buit s’utilitzen àmpliament en equips com ara sistemes de deposició de vapor químic (CVD), microscopis de força atòmica (AFM) i microscopis electrònics d’escaneig (SEM) per proporcionar l’entorn de buit requerit.
2. Medical: Alguns dispositius mèdics, com ara màquines d’hemodiàlisi i ventiladors, requereixen bombes de buit per ajudar en el tractament del pacient.
3. Indústria de semiconductors: durant la fabricació de semiconductors, es necessita una gran quantitat d’equips de buit per processar hòsties de silici i altres materials. Per exemple, durant el procés d’oxidació tèrmica de les hòsties de silici, es necessiten bombes de buit per controlar l’atmosfera i la pressió.
4. Vida diària: alguns electrodomèstics també utilitzen tecnologia de buit per millorar el rendiment i la qualitat del producte. Per exemple, el motor en un aspirador funciona basat en el principi de la pressió de buit.